二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #9195889 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo
ID: 9195889
晶圓大小: 12"
Multi-process etcher, 12".
LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一款功能齊全的幹式蝕刻器/asher設備,用於半導體器件組裝和生產中的物理化學蝕刻應用。2300 Kiyo采用最先進的感應耦合等離子體放電技術設計,能夠提供穩定、精確的精密蝕刻。該系統適用於各種結深度和生產率,包括淺結(SJT)和深結(DJT)制造工藝。該單元采用多腔室設計,有助於減少產品轉換所需的時間,從而實現更高效、更經濟高效的生產方法。LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一款先進的幹蝕刻機。它使用三個主要組件提供高精度蝕刻-多級真空室、感應耦合等離子體放電源和電子數字控制器(EDC)機。真空室包含六個伸縮處理平臺,提供高達五倍大氣壓的總容量,有助於優化處理時間。ICP源設計用於防止高功率應用過程中的電弧,並提供廣泛的等離子體功率。而EDC工具提供了準確和可重復的過程控制,以及實時數據監控來衡量資產績效。2300 Kiyo模型經過優化,可用於多級處理,從而實現蝕刻和等離子體增強模式之間的快速過渡。它還為淺層結和深層結的制造工藝提供了高精度的蝕刻應用。該設備采用全包工藝氣體包裝,能夠處理各種蝕刻化學物質,包括:氯、氧、氮、三氟化氯、三氯化硼和其他鹵素化學物質。該系統采用用戶友好界面和自動化技術設計,能夠提供全面的操作和過程配方。直觀的用戶界面使得編程和監控蝕刻過程的進度變得容易。此外,LAM RESEARCH 2300 Kiyo配備了一套數據分析工具,幫助用戶在流程、配方和材料的選擇上做出知情決策。2300 Kiyo是適用於各種蝕刻應用的高級設備,具有強大的工藝功能。它設計用於生產和裝配環境,提供可靠且可重復的蝕刻性能。LAM RESEARCH 2300 Kiyo憑借其高精度的功能和全面的工具和技術組合,為蝕刻半導體器件提供了高效、經濟高效的解決方案。
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