二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #9249856 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一款先進的原位蝕刻和灰化工藝工具。它能夠提供極低的蝕刻速率和出色的蝕刻均勻性,並具有應用程序和過程的靈活性。2300 Kiyo具有許多功能,使其適合各種工藝需求。LAM RESEARCH 2300 Kiyo具有0.1至1.0 nm/min的低蝕刻速率，部分原因是其高效射頻感應耦合等離子體源。該源還提供了穩定和均勻的等離子體，並且能夠以精確和精確的精度對幾乎任何材料進行蝕刻。LAM 2300 Kiyo還具有光學發射率控制功能,可增強蝕刻均勻性和工藝控制。LAM LAM RESEARCH 2300 Kiyo上的Process Chamber提供多種功能，包括自動停放、單晶片傳輸、裝載、卸載和卡帶/手動裝載機。它還包括一個專利的等離子體冷凍單元（PCU），它利用氮作為冷卻劑來減少晶圓變形，加速冷卻，減少氧化。PCU提供卓越的過程控制和一致性。2300 Kiyo是一款多種材料和工藝的多功能蝕刻器/asher。它提供了準確和可重復的蝕刻結果，並且可以根據各種應用進行定制，從2英寸到3英寸晶圓。此外,LAM LAM RESEARCH 2300 Kiyo還可以配置可選組件,如標準手動和自動裝載機/卸載機系統、雙晶圓傳輸系統和集成清除系統。這些功能為用戶提供了很大的靈活性。總之，2300 Kiyo是一種先進的原位蝕刻和灰化工藝工具，為各種應用提供了極好的蝕刻速率和均勻性。其專利PCU提供了增強的過程控制，光發射率控制也進一步降低了過程的可變性。LAM LAM RESEARCH 2300 Kiyo的多功能和可定制特性使其成為汽車、半導體和醫療設備市場的誘人選擇。