二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #9372748 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一種用於加工半導體晶片的最先進的幹蝕刻器/灰化器。這種設備是為高精度、高吞吐量和均勻性而設計的。該系統先進的等離子體源技術和腔室設計提供了卓越的均勻性和均勻性的蝕刻速率。它能夠為MEMS和電力電子等尖端技術生產高質量的介電蝕刻和其他薄膜。Kiyo利用RIE和RF MFR蝕刻技術獲得優異的蝕刻效果。發電機在每一次蝕刻周期中都保持高水平的吞吐量和高質量的蝕刻結果。精確的在線計量單元提供在線實時蝕刻速率控制和後過程分析，以確保蝕刻結果符合所需的規格。Kiyo包括一個過程反應器室，它允許等離子體過程的均勻性和可重復性。腔室連接到等離子體發生器，該等離子體發生器產生操作蝕刻過程所需的射頻（RF）功率。該機器還包括一個晶圓轉運站，使操作員可以通過手動或自動加載來裝卸用於蝕刻的晶圓。除了蝕刻之外，Kiyo還提供了ashing功能。灰化是等離子體清洗的一種形式，它從晶片表面去除物質，包括光致抗蝕劑和其他有機或無機汙染物。Ashing是許多制造過程中的關鍵部分，被用於創建半導體器件所需的保護計劃。2300 Kiyo是一款高效可靠的蝕刻器/asher，為生產先進半導體器件提供理想性能。其精確的在線計量和控制工具為高效的制造過程提供了最高的精度。該資產支持批處理和單晶片處理,為各種用戶應用程序提供了靈活性。該模型還能夠從單個控制器運行完整的流程配方,從而提供經濟高效的處理。