二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x #9212622 待售
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LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x蝕刻器是一種自動化的化學機械拋光（CMP）設備，設計用於芯片開發應用的高級介電和金屬蝕刻層處理。該Kiyo3x系統為關鍵介質和金屬CMP應用提供了增強的平面化和特征輪廓控制,提高了器件產量,降低了總擁有成本,優化了工藝集成。LAM 2300 Kiyo3x具有許多先進的部件,包括獲得專利的微型定位裝置（MPS）,可在兩個機械階段之間實現精確和可重復的基板對準和運動。這為極均勻的蝕刻層結果提供了微米級可重復性。該Kiyo3x最多可配備兩個液體控制器和兩個LAM Endura模型化的CMP工藝,允許定制配置以滿足特定的應用要求。LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x具有高級工藝控制功能。機器可以使用後處理分析或原位計量控制多達四個過程參數。此外,該Kiyo3x還配備了高級流程控制工具,可提供實時流程控制和對監測結果的反饋。該Kiyo3x可配置各種常規和統一的化學和機械階段及工藝配方。機械級提供廣泛的運動和旋轉,以滿足各種處理需求。2300 Kiyo3x還包括一系列用於精確特征控制的專利噴嘴和基板適配器設計,為精密蝕刻層提供了一系列輪廓形狀和特征分辨率。LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x為金屬和介電蝕刻層工藝提供了卓越的性能和廣泛的功能,因此可以為各種芯片開發應用提供精確、優化的結果。該資產提供了出色的特征輪廓控制和平面化,以實現最佳生產產量和降低總擁有成本。此外，精確的實時過程控制和監控可確保設備的最佳產量和過程可重復性。
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