二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x #9249855 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x是一種用於半導體制造工藝的最先進的蝕刻器/asher。它提供了旨在提高生產率、產量和質量的先進技術和功能。它是一種用途廣泛的機器，可用於蝕刻和灰晶片、邊框和其他半導體組件。2300 Kiyo3x采用閉環集成過程監控（IPM/C）設備,可確保產品可重復性和吞吐量優化。這臺機器還提供精確的溫度控制、功率監控和射頻能量耦合，以確保工藝針對每一個特定的晶圓進行優化。LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x配備了先進的原位集群去除檢測（CRD）系統，該系統使用電容傳感器陣列實時檢測和監控晶片集群。2300 Kiyo3x包括具有集成散裝氣體輸送機的高性能二元氣體單元，可實現精確的氣體控制和混合氣體輸送。此外，這臺機器還配備了高速氣體開關工具，氣體流動中斷最小，可實現高通量和低交叉汙染。該資產還配備了多項安全功能，如，一個防止意外過程壓力尖峰的低功率負載鎖、高電流等離子體保護以及幾個可聽和可視泄漏探測器。LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x分為三個基本模塊：反應性離子蝕刻（RIE）、酸性蝕刻（AE）和Asher。RIE模型是一種先進的基於真空等離子體的工藝，用於去除抗蝕劑、薄膜和聚合物。AE設備用於將圖樣從掩模傳輸到晶圓。Asher是一種後處理蝕刻器，用於清除蝕刻過程後殘留的殘留物。2300 Kiyo3x提供了一個全面的工具管理軟件包,可幫助安排和管理每個特定應用程序所需的工具。該系統通過改進數據管理和共享來減少設置時間和生產停機時間。此外，LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x通過監測流程數據和詳細分析室內性能提供流程支持。這有助於確保持續的高產量。總之，2300 Kiyo3x是一個先進的蝕刻/asher單元，提供最新的技術和特點。它提供了出色的過程控制和監控、高吞吐量、低汙染和總體提高的生產率。所有這些功能使LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x任何半導體應用的絕佳選擇。