二手 LAM RESEARCH 2300 Metal #9314599 待售

LAM RESEARCH 2300 Metal是一種蝕刻器/asher，設計用於蝕刻和粉刷各種金屬和其他半導體材料。這是借助三個等離子體腔室、兩個蝕刻腔室和一個asher的多腔室設計實現的。它是一種可靠的工藝解決方案,可用於金屬的一致蝕刻和灰化,並具有可重復的結果.蝕刻室能夠使用各種蝕刻氣體偏好來蝕刻各種金屬，如氮氣、氫氣、氧氣和氯氣。它還包括許多在用戶友好的用戶界面幫助下輕松執行的流程配方。LAM RESEARCH還具有集成的多室配置,以確保高效、均勻的蝕刻和灰化。Asher能夠對包括金、銅、鋁、鈦在內的多種金屬化基板進行灰化處理。此外，它還可以洗去鈍化層、電介質、多晶矽等種類繁多的非金屬底物。Asher具有1至5微米的灰度深度，過程重復性大於1%。2300 Metal配備了排氣安全探頭、集成傾斜安全監視器等多種安全功能。排氣安全探頭設計用於監測腔室內產生的壓力，以便延長操作。集成傾斜安全監視器用於確保腔室正確對齊,以防止過度蝕刻或灰化,從而避免損壞基板。此外,它還具有高性能的自動化控制器和圖形用戶界面,可全面控制蝕刻和灰化過程。集成用戶界面為用戶提供了快速編程工具、監控蝕刻和灰化過程以及更改/修改/讀取腔室參數設置的能力。該控制器還設計用於與其他蝕刻系統和自動化控制系統的輕松集成。整體而言，LAM RESEARCH 2300 Metal是金屬蝕刻和灰化的絕佳選擇。它提供了最高的精度、準確性和可靠性，對基板的損害最小。它還具有可靠、高效的客戶服務,便於設置和擴展操作。