二手 LAM RESEARCH 2300 Metal45-CIP #9241984 待售

LAM RESEARCH 2300 Metal45-CIP是一種蝕刻器/asher設備,旨在滿足較短的工藝時間並提供均勻蝕刻的圖樣。它是用最新的技術進步建造的，提供精確的結果。該系統提供了兩種主要的工藝技術,可以選擇添加額外的工藝。它配備了化學放大光刻（CAPL），可以蝕刻精確度為+/-0.001微米的圖樣。它還擁有一個ALD（原子層沈積）選項，非常適合創建亞微米模式和均勻薄膜。此外,該單元還提供了化學空氣蝕刻（CAE）選項,用於在設計中蝕刻標簽或其他精細特征。該機采用45厘米× 45厘米、1類潔凈室兼容、電梯式感應耦合等離子體（ICP）源。它提供了一個全自動晶片處理工具，用於精確和高效的晶片分配，以及在鋁、銅和各種低k材料等各種基材上的統一結果。ICP源還具有雙氣體輸送資產，允許用戶將加工氣體分開，以達到最小化氧化、滲碳和粘合劑燃燒的結果。此外,該模型還包括一系列真空源,包括渦輪分子、離子吸收器和冷凍泵,確保了加工過程中的最大清潔度。它具有真空密封載荷鎖和快速清洗設備，消除了除氣和顆粒攝入。該系統最高溫度為950 °C，可容納多達55個晶圓轉盤，方便快捷地裝卸多個晶圓。簡而言之,2300 Metal45-CIP是為滿足高性能要求而設計的高級蝕刻器/asher單元。它提供了卓越的工藝精度,並提供了多種精確和統一的結果技術。該工具具有安全、清潔、兼容的設計、快速的晶片處理機和各種吸塵器，可確保各種基材的高效可靠。