二手 LAM RESEARCH 2300 V2 #293595429 待售

ID: 293595429
晶圓大小: 12"
優質的: 2002
Plasma processing system, 12" Etch platform (4) Exelan Chambers (4) Gas boxes Remote power distribution box 3LP EFEM Vacuum transfer module Control rack BROOKS AUTOMATION ATR8 ATM Robot BROOKS AUTOMATION MAG7 VTM Robot (2) FOUPs Cassette type: 25 No conditioning station IPX / EPX Pump for TM Side monitor user interface Stainless wafer pads No UPS No ELB R-O-G-B Signal tower ESC Wafer clamping mechanism ESC Power supply ESC Hose kit ESC Barbed facility plate Wafer life mechanism: Direct drive O-rings: Fluorosilicon / Viton ATH 1600 M Turbo pump Optical emission spectroscopy Chemraz gate valve 2002 vintage.
LAM RESEARCH 2300 V2 Asher是一種全自動、高精度的蝕刻器/Asher,專為某些材料的幹蝕刻而設計。它非常適合用於設備制造、半導體設備加工、MEMS生產、電路板制造和其他批量生產過程等應用。它能夠達到高達300 µm的蝕刻深度,蝕刻精度± 0.05 µm,並且可以在高達3000 °F (1650 °C)的多種溫度下運行。2300 V2 Asher由一個先進的控制器驅動,該控制器包括一個反吹再循環晶片盒式驅動器設備和一個帶真空系統的閉環處理室,以實現最佳的過程控制。加工室包含兩個獨立的蝕刻系統,第一個用於蝕刻基板,第二個用於背面蝕刻。它還包括一個架空機器人定位器和自動對焦軟件。晶片盒式驅動器可以有效地加載/卸載晶片,從而提高吞吐量。LAM RESEARCH 2300 V2配備了緊急停止按鈕、互鎖保護、煙霧檢測過濾機、強制空氣凈化等多項安全功能,以防止有害氣體和氣溶膠逃離工序室。這些功能確保了蝕刻器的可靠和安全操作。2300 V2提供集成了過程控制和軟件的完整蝕刻解決方案。這包括一組功能強大的流程工具和參數控件,可根據需要進行編程、監控和調整。這使用戶能夠以最高的精度和可追蹤性優化其流程。該工具還可以通過開源腳本語言容納各種各樣的自定義腳本,允許用戶根據自己的特定需求修改資產。最後,LAM RESEARCH 2300 V2是一款高級自動化蝕刻器/asher,具有廣泛的特性和功能。其先進的過程控制和安全功能以及開源腳本語言確保了可靠和準確的操作。其溫度性能、蝕刻精度和吞吐量使其成為批量生產和其他高精度制造工藝的理想選擇。
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