二手 LAM RESEARCH 2300 V2 #293777560 待售

LAM RESEARCH 2300 V2是一種高性能蝕刻器/asher，用於從基板上去除材料，以便對電路或蝕刻敏感材料進行圖樣化。蝕刻器/灰化器能夠使用從相對安全到高度腐蝕性的化學物質混合使用，並且可以處理各種晶圓尺寸，從2-200毫米不等。機器還提供自動基板控制和穩定的高頻模塊性能，可重復的過程。它的設計具有堅固的雙極源，可以精確對齊，在基板上提供一致和均勻的通量密度。2300 V2的高級處理能力通過高性能射頻發生器、多區氣體分配和自適應過程系統啟用。該機可使用多種工藝氣體，如HF、O2F2、SF6和Cl2，以及反應物氣體混合物，使其適合在廣泛的蝕刻速率和晶圓尺寸上進行蝕刻和灰化應用。多區氣體分布保證了均勻而逼真的各向異性蝕刻剖面，而大腔室的設計則為工藝時間和總厚度變化提供了一個穩定的環境。LAM RESEARCH 2300 V2配備了易於使用的觸摸屏界面，允許用戶快速管理和監控蝕刻器/asher的操作。寬大明亮的控制面板顯示操作參數,包括反應範圍和無流量時間,從而能夠快速診斷和防止潛在的模式缺陷。還可以進行遠程監控和調整,使客戶能夠保持流程一致性。先進的工藝保護系統通過確保等離子體的條件得到優化，以最大程度地減少對附近區域的損害，從而確保了等離子體增強過程中的最佳設備保護。總體而言,2300 V2是一款高級蝕刻器/asher,旨在為客戶提供強大而可靠的處理功能,使他們能夠放心地處理各種蝕刻和蝕刻/ashing應用程序。