二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9282805 待售

LAM RESEARCH Kiyo是由LAM RESEARCH設計制造的最先進的高通量介電蝕刻器/asher。它支持傳統的濕蝕刻和幹灰化工藝，以便在進一步加工之前清洗和制備晶圓。由於其創新的設計，Kiyo是高精度介電蝕刻/灰度的絕佳工具，具有雙級工藝能力和可旋轉卡盤，以提高均勻性。它能夠蝕刻多種介電材料如氮化物和氧化膜，以及高k金屬柵極堆棧。LAM RESEARCH Kiyo提供單一晶片或吊艙處理配置,最大腔室尺寸為331 mm,最大烤盤溫度為500 °C。Kiyo提供了強大的嵌入式機床控制器，允許快速晶圓加載時間和精確的過程控制。機床配有一個專有的虛擬基板控制（VSC）系統，可確保高度可重復的基板。控制器還可以訪問實時晶圓數據，如溫度和氣流，以改進過程控制。LAM RESEARCH Kiyo設計方便、安全的維護和服務。腔室配備了雙壓力端口，使得工藝周期比單端口腔室更快。還可通過集成的LAM Clean Chamber軟件實現自動清潔功能,從而最大程度地減少維護停機時間。此外，Kiyo還提供了高精度溫度控制、多氣體能力、低顆粒性能等眾多先進功能。LAM RESEARCH Kiyo是精密晶圓制備的可靠工具，能夠生產出始終如一的優質電介質。提供優質復制品，減產變異，最大魯棒性。