二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9363127 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45是一款用於工藝開發和IC制造的高性能蝕刻器/asher。此蝕刻器/asher提供高級工藝功能,以滿足設備生產的苛刻要求。這是一種通用工具,可用於各種蝕刻和灰化過程。它旨在支持多種蝕刻技術，如金屬蝕刻、介電蝕刻、熱分解、鹵素接觸蝕刻、氣體接觸蝕刻以及與混合鹵素和氣相反應物接觸蝕刻。它還支持深層RIE和等離子體處理等灰化過程。這種多功能性使用戶能夠以最少的系統重新配置來支持其特定的流程開發或生產流程。Versys Kiyo 45為用戶提供了精確的流程可重復性、「影片映射」和最多可達50步、最多可達256 × 256陣列的流程配方,以及實時OPC（光學臨界維度）測量,使用戶能夠使用集成工具的檢查室就地和按需查看其流程質量。該檢驗室的視野可達40 × 30mm，可用於分析晶片或工件的物理特征。LAM RESEARCH 2300 VERSYS KIYO45利用一個泵組,該泵組可以從0-45升/分鐘驅動,用於高級壓力控制。同時，Versys Kiyo 45是一種全自動工具，能夠在自動選擇和自動清潔周期內運行，並利用各種氣體和化學品支持蝕刻和清潔過程。Versys Kiyo 45還為用戶提供了可選過濾，使用戶減少粒子被引入蝕刻/灰燼系統的可能性。該系統還提供液相或氣相工藝的清潔就地功能。總體而言,2300 Versys Kiyo 45是一款高級、功能強大的蝕刻器/asher。它為用戶提供了更高水平的可重復性、帶集成工具檢查的按需過程監控以及可選的過濾和CIP過程。Versys Kiyo 45是用戶支持其高精度IC制造操作的理想選擇。