二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9378309 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45是為微電子和光刻應用而設計的高級蝕刻器/asher，涉及去除晶圓上的材料層。Versys Kiyo 45是LAM RESEARCH對經典Versys Kiyo系列的更新,提供了改進的性能、可靠性和易用性。Versys Kiyo 45具有450°C的溫度範圍,允許更高的溫度和更高效的復雜圖案蝕刻。其1KW的Ozone/RF電源具有精密蝕刻能力，在不犧牲基板熱均勻性的情況下提供卓越的溫度均勻性。獲得專利的Free Space Ozone激光器可在晶圓表面提供均勻光束,從而實現精確的蝕刻,同時降低硬件復雜性。Versys Kiyo 45的用戶友好型設計包括直觀的觸摸屏控件和大型顯示屏,便於監控過程參數。提供了一系列循環程序,包括順序蝕刻和並行蝕刻。Versys Kiyo 45具有耐用的不銹鋼腔室，旨在優化蝕刻工藝執行，最大限度地減少漂移。其優質的臭氧輸送管確保了高清蝕刻模式，降低了結果不一致的潛在風險，同時也縮短了產品周期時間。Versys Kiyo 45還具有自動調節噴嘴,無論基板的表面特性如何,都能確保蝕刻深度的均勻性。Versys Kiyo 45提供了許多獨特的功能,包括兩級過濾設備,可幫助減少汙染,同時確保用戶安全。Versys Kiyo 45還提供了一個潔凈間就緒的設計，帶有磁性屏蔽，可以屏蔽加工室免受外部電場的影響。Versys Kiyo 45還有一個創新的晶圓輸送系統，消除了手動操作的需要，最大限度地降低了操作員出錯的風險。綜上所述，LAM RESEARCH 2300 VERSYS KIYO45是為微電子和光刻應用而設計的先進蝕刻器/asher。Versys Kiyo 45通過其450°C的溫度範圍、1KW的Ozone/RF電源、Free Space Ozone激光器、直觀的觸摸屏控制以及全面的循環程序,提高了性能、可靠性和易用性。Versys Kiyo 45還具有耐用的不銹鋼腔室、兩級濾波器單元、自動調節噴嘴、帶磁性屏蔽的潔凈室就緒設計以及創新的晶圓送貨機。