二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9386658 待售

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ID: 9386658
晶圓大小: 12"
優質的: 2009
Poly etcher, 12" 2009 vintage.
LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一個先進的蝕刻/asher平臺,為蝕刻和灰化過程的精確度而設計。此設備提供獨特的硬件和軟件組合,可根據客戶的特定需求進行定制。ONTRAK Kiyo 45將蝕刻速率操作的精確度與高級軟件功能相結合,以實現比其他系統更高效的蝕刻/灰化操作。LAM RESEARCH Kiyo 45采用封閉式和密封式真空室,不僅保持操作員和樣品安全,而且提供更好的蝕刻速率控制,以實現一致和可重復的結果。腔室容積約為11升,過程壓力可以從大氣壓調整至10托或以上。Kiyo 45還具有較低的疏散率,減少了頻繁通風室的需要,這有助於減少停機時間和成本。LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45在其易於使用、直觀的控制系統上包含了多種蝕刻和灰度配方。此單元可以定制以滿足客戶的需求,並使創建有效的蝕刻/灰燼過程變得更加容易。它允許快速的配方設置,並允許統一的蝕刻速率控制,使其非常適合在加工窗口緊密的情況下處理高度定向的材料。ONTRAK Kiyo 45機器還具有用於樣本跟蹤和數據記錄的高級軟件,允許客戶存儲每個蝕刻/灰燼過程的詳細信息。此數據可用於診斷可能的蝕刻或灰化問題、監控蝕刻速率和重復質量結果。數據捕獲還允許客戶實現過程和產品的可追蹤性,以實現法規遵從性。LAM RESEARCH Kiyo 45工具設計得非常人性化,因此即使是首次使用的用戶也可以快速學習操作資產。直觀的圖形用戶界面顯示了所有蝕刻和灰化過程的概述,減少了新用戶的學習曲線,並方便地找到正確的蝕刻/灰化過程。憑借其可靠的硬件和軟件,Kiyo 45提供了功能強大且用途廣泛的蝕刻/灰化平臺,其功能可提高處理能力、減少浪費並提高總體成本效率。該模型的蝕刻速率範圍高達3,000 nm/min,低真空壓力為10 Torr,可提供更詳細、更準確的結果,並減少浪費,使LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45成為先進且經濟實惠的蝕刻/灰燼操作工具。
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