二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly #293758913 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly是一款用於薄膜應用的asher和蝕刻器。它是一種尖端的幹蝕刻設備，設計用於金屬和多晶矽的深層蝕刻。該系統有兩種可用的工藝（透明或自限），可用於各種蝕刻技術。Versys KIYO Poly具有兩個獨立的等離子體源，可獨立用於金屬和多晶矽蝕刻，並精確控制兩個工藝步驟。等離子體源可實現高精度蝕刻控制，不受其它等離子體源的幹擾。該單元還提供工藝靈活性，可用於多種金屬合金（鋁、鈦、鎢等）的高完整性蝕刻，以及包括薄至0.3微米的銅膜在內的多晶矽材料。Versys KIYO Poly提供高精度的過程控制,具有預測性蝕刻速率控制、用於統一過程性能的溫度截止以及高級過程控制（APC）。它還為金屬和多晶矽蝕刻提供了一套通用的工藝選項，包括硼摻雜參數、溝槽蝕刻、垂直階梯蝕刻和深層蝕刻。該機能夠達到+/-1.0微米的臨界尺寸精度和亞微米特征分辨率的均勻性。它提供了一種易於使用的遠程監控工具,可以通過資產控制進行實時調整。該模型配有高溫真空（HTHV）腔室，為不同的薄膜厚度提供均勻的蝕刻速率，確保工藝穩定性。它還具有精確的雙射頻源設備，用於對蝕刻工藝的最終控制，以及全自動電極發射系統。Versys KIYO Poly是一款多功能蝕刻設備,能夠在單個腔室中實現多個設備的單步蝕刻,非常適合原型和生產應用。