二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly #293762655 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly是一款為多晶矽蝕刻和玻璃介電材料而設計的蝕刻設備。此高級蝕刻器具有高通量、全自動的平臺,能夠在整個基板尺寸範圍內生成具有精確可重復性和均勻性的高分辨率陣列配置文件。Versys KIYO Poly的高分辨率陣列功能使其非常適合光掩碼、柵極電介質和電子設備制造等應用。Versys KIYO Poly系統采用基於等離子體的蝕刻工藝,可產生高精度的垂直壁特征、筆直的幾何形狀和銳利的邊緣,且底切最小。它具有廣泛、用戶友好的工藝範圍,可靈活處理不同的陣列尺寸、線條寬度和長寬比。它具有超壓、過程自動化和吞吐量控制選項的高度可配置性。蝕刻器還提供先進的集成過程監控,以確保最佳蝕刻質量。這包括基於實時蝕刻過程結果自動調整過程參數的自動排序配方。它還提供先進的溫度控制、深度測量和端點檢測功能，從而能夠精確蝕刻多晶矽薄膜。Versys KIYO Poly設計為高可靠性和低維護的操作。它利用低溫氣體輸送系統，包括減少頻繁重置需求的自規劃反應堆。該單元還配備了一個集成的次環境幹泵，提供安靜，低灰塵操作。Versys KIYO Poly機器的設計具有卓越的蝕刻性能,特別適合高精度、高分辨率的多晶矽蝕刻。該工具采用全自動、用戶友好的設計,非常適合需要高精度、快速吞吐量和低維護的應用程序。