二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly #9257976 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly是一種工業蝕刻器/asher，用於在半導體芯片制造過程中蝕刻和/或淡化基板。蝕刻和灰化是串聯完成的,只需要一臺機器,而不需要兩臺獨立的蝕刻器和灰燼。該工具利用多Cool™冷卻板精確映射晶圓溫度，有助於確保蝕刻和灰化晶圓的均勻冷卻。每批晶片都可以使用2300 Versys Kiyo Poly精確處理。它最多可容納300個晶圓，允許大批量生產和高效批量一致性。該工具與多Controller™可編程邏輯控制器和可編程自動化控制器集成在一起，能夠精確控制蝕刻和灰化參數。用戶可以針對不同的材料或晶圓厚度設置和存儲不同的工藝配方。LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly配備了P3™ Advanced Pressure Profiling技術，安裝在等離子體蝕刻室中。此技術降低了壓力剖面的復雜性,以便在蝕刻時更好地控制過程。它有多種蝕刻和灰化氣體如氟氣、氧氣、Cl2和Ar，並允許對氣體進行自動質量流量控制。遠程等離子體源選項減少了粒子的產生，消除了CMP過程中潛在的變異源。該機采用自動氣體配置，允許用戶設置系統、存儲多個氣體配置以及遠程更改氣體配置。這有助於減少與手動設置相關的浪費,用戶無需額外的安裝時間即可輕松切換配方。2300 Versys Kiyo Poly還設有頂部開口門，便於裝卸盒式紙盒，使其更容易處理晶片。它還與Teflon™過濾器兼容，這有助於減少碳汙染和其他汙染，確保高質量的產品。