二手 LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly #9292953 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly 蝕刻器/asher是一種先進的設備,在蝕刻和灰化過程中具有可靠性和高性能。它有一個能夠同時容納兩個過程的大腔室，非常適合高通量生產。2300 Versys KIYO Poly etcher/asher的多功能設計為用戶提供了多種工具,其強大的流程功能使用戶能夠自定義其操作。該腔室建造得非常堅固，並以其獨特的材料選擇和設計，可以承受極端的溫度、壓力和侵略性的化學物質而不會出現問題。腔室還包括通過使用分子篩進行特殊的亞環境冷卻。雙工序執行快速、高效的蝕刻和灰化，兩個工序在同一腔室內進行。該蝕刻器采用LAM RESEARCH翻轉蝕刻技術（FET），具有集成的工藝和設備控制智能。LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly蝕刻機/Asher中的灰化技術，被稱為CAT-M Carbides Asher，旨在管理粒子和選擇性，確定最佳的底層或頂層灰化策略。結果表明：聚H-CMP的殘留物還原率高達97%和99.9%。該平臺還提供維護環境,旨在為客戶提供快速的服務響應和快速故障診斷。因此,減少了停機時間,提高了工藝產量。2300 Versys KIYO Poly 蝕刻器/asher還設計為節能,並配有電源監控系統,有助於確保一致使用的最佳條件。LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly 蝕刻器/asher是高通量蝕刻和灰化過程的終極工具。它的可靠性、性能和高級特性使其成為半導體行業中許多應用的理想選擇。它的多功能性加上易用性提供了一個一定能滿足任何用戶需求的過程。