二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly #9372749 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly是一款高性能蝕刻設備，設計用於在半導體器件生產中提供精確的晶圓蝕刻。該系統具有優越的晶片吞吐量和優化的蝕刻時間和精度，以及高質量的蝕刻特性。該裝置得益於完全集成的工藝控制、高度可靠的再循環鈍化和選擇性晶圓蝕刻等智能特性。2300 Versys KIYO Poly擁有一個創新的晶圓支架傳輸單元,確保晶圓在蝕刻過程中緊密固定到位。該裝置還有一臺自動晶片處理機，可高效裝卸晶片，進一步提高加工時間和精度。LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly擁有最新的等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）技術。PECVD技術具有靜電卡盤,可確保沈積材料的精確蝕刻,有助於實現更高的長寬比和更小的特性。蝕刻結果通過獨特的蝕刻後等離子體清洗過程得到增強，消除了蝕刻過程中留下的任何殘留顆粒。2300 Versys KIYO Poly還具有實時腔室溫度控制功能，保持最佳處理參數，並確保結果的一致性。此外,該工具還具有先進的數字控制,具有直觀的資產接口,易於使用和適應。LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly還有一個強大的設計，以適應苛刻的環境和流程。不銹鋼和鈦合金結構確保模型具有耐腐蝕性，不受顆粒汙染。此外，KIYO Poly還包含了諸如泄漏檢測監測和定期化學檢查等環保功能。2300 Versys KIYO憑借其優越的構造和技術，是高級蝕刻和灰化應用的絕佳選擇。