二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9137280 待售
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ID: 9137280
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Etcher, 12"
Mainframe: V2
(2) Kiyo
(2) Strip 45
2006 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo是一款高科技蝕刻器/asher,非常適合從高級包裝和MEMS設備制造到SOI基板制備等應用。這種功能強大的工具能夠在濕法、幹法和等離子體工藝中進行蝕刻，使其成為各種設備的通用選項。它具有用於精確控制蝕刻輪廓的三維電磁體，是關鍵蝕刻工藝的理想選擇。此外，該工具還配備了無冷凍劑的垂直冷卻器設備，可實現高速、低溫的蝕刻工藝。該系統還設計了一個高效的過濾器單元，允許一個清潔、無汙染物的蝕刻環境。該工具能夠蝕刻多種材料和底物，包括砷化氙、矽、貴金屬等等。它能夠以非凡的精度蝕刻材料,在一定深度範圍內,從20到1,000個銑削弧度不等。此外，它還配備了兩級氣體輸送機，允許各種蝕刻化學和反應性氣體。該工具還具有高精度步進電機和數字模式發生器，易於編程，並允許產生用戶所需的任何蝕刻模式。此外，該工具能夠蝕刻1D線、2D圓、3D多角和4D復雜形狀。此外,該工具還包括激光對準資產,可實現更高的精度。此外,2300 Versys Kiyo還設計了一個負載鎖定室,可提供一套高級樣品處理功能。此型號采用高效批量蝕刻配置,可實現更快、更高效的工藝。最後,該工具還具有全面的監控設備,符合多種標準電鍍協議,非常適合各種蝕刻應用。
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