二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9240730 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9240730
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Polysilicon etcher, 12"
Includes:
2300 Frame
(2) Exelan flex chambers
(2) Kiyo FX chambers
LAM RESEARCH Kiyo MCX Chamber
(3) LAM RESEARCH Kiyo chambers
2005 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo是一款高級蝕刻器/asher,非常適合各種應用。它結合了高性能氣體輸送和控制、堅固的機械設計以及直觀的用戶界面工具,為蝕刻和灰化過程提供了強大的解決方案。作為蝕刻器，2300 Versys Kiyo提供精密蝕刻功能，最多50種不同的蝕刻配方。機器還允許最多300個晶圓位置，可以容納8英寸或12英寸晶圓。每個蝕刻配方都是用基材形狀、陰影和蝕刻深度等優化參數編程的。LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo被設計為蝕刻應用的高效工藝工具。該工藝室最大容量為6升，一次最多可處理6個晶圓。該工具還包括一個晶圓直視對準設備，該設備具有自動對焦功能，可在標線期間進行圖像覆蓋，從而縮短制造時間。此外，該工具還包括一個氣體混合系統，它提供對高級蝕刻工藝所需的氣體混合物的精確控制。該氣體混合裝置具有全自動氣源選擇和控制功能，用戶可以快速編程和優化流程。2300 Versys Kiyo還提供了多項安全功能，以確保安全運行。該工具配備了雙級真空機，既有渦輪分子泵，也有離子吸收器次級泵。這樣可以確保腔室在操作過程中保持在安全真空水平。機器還配備了氧氣報警工具，如果室內有不安全的氧氣積聚，它將提醒操作員。總體而言,LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo是一款可靠且功能強大的蝕刻器/asher,可為各種蝕刻應用提供精確的結果。其用戶友好的界面、先進的氣體控制和安全特性使其成為生產級蝕刻和灰化工藝的理想解決方案。2300 Versys Kiyo具有堅固的機械設計和精確的氣體輸送資產,是各種基材蝕刻和灰化的可靠高效解決方案。
還沒有評論