二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9266036 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo是在半導體生產中為低溫材料的高通量、高性能加工而設計的先進蝕刻器/asher。它采用雙室設計，可在一個室內容納兩個獨立的基板。該腔室能夠達到最高500C的溫度，並且可以通過使用強大的控件進行精細調整，以確保適當的材料加工。2300 Versys Kiyo提供精確的氣體分配和控制,這對於高級過程控制和可重復結果至關重要。它與Lam專有的原位光致抗蝕劑剝離機理結合在一起，具有獨特的陰極電弧遞送，可提供優越的效果，不會對底層基板造成可測量的損害。此外，Kiyo還包括一個高容量氣體輸送設備，用於同時蝕刻和粉刷多達8個晶圓，以提高吞吐量。此外，其精密的真空歧管設計允許精確和可重復的蝕刻結果。LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo的設計具備全面的流程監控能力，以確保可重復的精確結果。它與直觀的軟件包集成在一起，允許通過其圖形用戶界面對參數進行有效的微調。此外，最新的數字閉環工藝控制技術為後工藝分析提供了最優晶圓均勻性。2300 Versys Kiyo還具有獲得專利的預擴散階段,允許材料在蝕刻之前在垂直方向上精確擴散。它也是唯一一個提供單一單元氣體噴射單元的系統，該單元具有獲得專利的外殼技術，可確保準確的均勻沈積，而不會使其他結構暴露於有害材料中。最後，它的前門檢修門簡化了操作，方便了機器的快速和方便的維修。LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo是為生產半導體應用的低溫材料而設計的先進、高性能的蝕刻器/asher。其雙腔室設計、精密氣體輸送、高精度工藝控制和原位光敏剝離機構，提供了一致、可重復的結果，具有最佳晶圓均勻性。這些功能結合直觀的用戶界面和快速維護功能,使2300 Versys Kiyo成為高通量應用程序的理想選擇。