二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9353167 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo是目前提供的最先進的蝕刻器和分類器之一。此工具旨在在半導體、MEMS和LED生產環境中的各種應用中提供精密蝕刻和灰化。該設備能夠處理平面晶片和輪廓晶片，具有無與倫比的精度、速度和可重復性。該系統能夠處理直徑達200 mm的晶片,並提供許多不同的工藝參數,這些參數可根據操作員的要求進行調整。Kiyo提供低流量和高流量版本,以增加靈活性。低流量版本的流量為2-5升/分鐘，高流量版本的流量為7-10升/分鐘。Versys Kiyo的工藝室設計具有安全特性，並提供出色的等離子體均勻性，允許更嚴格的蝕刻公差和更好的邊緣精度。Versys Kiyo的最大壓力為200 Millibar （Mbar）,溫度範圍為15-40 C,可處理各種蝕刻和灰燼工藝,並具有手動過程控制選項以及集成過程控制功能。該機組還配備了眾多安全功能，包括自動氣體關閉、緊急排氣機、位於機器前部的緊急停止按鈕。這些功能確保操作人員在蝕刻和灰化過程中始終保持安全。此外,Versys Kiyo還配備了液晶顯示器（LCD）觸摸屏,可輕松訪問設置、監控當前流程周期以及檢索和分析數據以改進流程。該工具還配備了「軟Vac」功能，可實現更精確、更高效、更安全的蝕刻和灰化工藝。總體而言,2300 Versys Kiyo是在要求最苛刻的半導體、MEMS和LED生產環境中進行精密蝕刻和灰化的理想工具。該資產結合了先進的等離子體均勻性、眾多的安全特性和可靠的工藝控制能力，使其成為優越的蝕刻和灰化解決方案。