二手 LAM RESEARCH 2300 Versys #9008862 待售
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ID: 9008862
Metal etcher, 12"
Install Type: Stand-Alone
Application: M1/M2 Al Etch
System Software (ver.): 1.7.2sp2HF4-CST-5
Chambers: (2) Metal Etch CH + (2) Ash/Strip CH
Factory Interface/Automation:
Interface: (3) Carrier Stage (continuous flow operation)
Brooks 300mm Load-Ports
25-Slot FOUPs (complies w/SEMI E47.1)
Overhead Transport System (OHT)
OHT PIO Sensors
Wafer ID Reader: No WIDS, Bottom Read
Carrier ID Reader: HERMOS RF Tag-Reader
Main-Frame (M/F) / Transport Module (TM):
Platform Type: Version 2
User Interface-1: Front side, Flat Panel Display
User Interface-2: System side, Flat Panel Display
GEM/CIM JGJ: Ethernet 100BaseT
Status Lamp: (2) R/Y/G/B
1: Front side (FI), Upper-Left
2: Tool side, Upper-Right
EMOs: (2) Front, (2) Rear
Conditioning Stage: 4-Slot Cooling Station
Heated Fore-lines
Dual Drop Sub-Panel
UPS on System
GFI Main CB
TM Gas Box: 12-Line Enhanced Gas Box
Tool Fab Interlocks:
Gas Box Door (Local) Fab
Fab Gas Box Iso-Valves
Utility Box:
Regulators:
CDA: SMC AR2500
N2: Veriflo SQ-420E
He: Veriflo SQ-Micro
Manual Valve: OGD20V-6RM-K / OGD10V-4RM-K (CKD)
Pressure Gauge: Bourdon Gauge
De-installed by OEM
2006 vintage.
LAM RESEARCH VErsys 2300 蝕刻器/asher是一款高端蝕刻器和asher設備，非常適合半導體行業的蝕刻和清潔工藝應用。Versys 2300具有先進的電源解鉤工藝室,可提供廣泛的壓力、溫度和氣流,以滿足所有蝕刻和清潔需求。Versys 2300還有一個集成的負載鎖室和一個遠程等離子體源，可以快速高效地加載和卸載晶片，以及同時使用低溫和高溫過程。Versys 2300采用LAM獲得專利的熱調制設計,為溫度均勻性和可重復性提供了最佳控制。此功能使其成為業界最可靠的蝕刻/灰化系統之一,因為它提高了過程控制的準確性,並確保了一致、可重復的結果。Versys 2300還定位了兩種類型的等離子體源：遠程等離子體源（RPS）和等離子體火炬系統（PTS）。遠程等離子體源使用石英窗口來容納等離子體，能夠獲得更高的功率水平，而等離子體火炬單元則更可靠，在低功率水平下產生更一致的結果。Versys 2300還配備了一臺名為SES（Smart Etcher Tool）的高級流程自動化機器。這一資產允許使用最少的操作員輸入實現蝕刻和清潔過程的完全自動化，從而顯著降低了人為錯誤的風險。此外,還可以使用各種軟件選項和定制配方來配置模型,以滿足多種流程要求。Versys 2300還配備了LAM創新的AI診斷工具,使用戶可以訪問設備和過程信息的實時監控。這使用戶能夠快速輕松地識別流程問題並在需要時進行更正。Versys 2300是一款可靠高效的設備，非常適合半導體行業的任何蝕刻和清潔應用。
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