二手 LAM RESEARCH 2300 Versys #9036038 待售

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ID: 9036038
Dry etcher Parts list: 4 Chambers : 2 PM/2 Strip Robot: L/L => Brooks, TR/CH => MAG7 Generator : Apex 1500/13 (2 ea), RFDS (2 ea) RPS: AX-2630 LRC-Q (2 ea), F120160-3(MKS) (2 ea) TMP: STP-A2203 (2 ea) Gas box: Enhanced gas box (Digital 12 line) (4 ea).
LAM RESEARCH 2300 Versys是一款創新的蝕刻器和asher,為先進的設備技術提供先進的處理能力。Versys平臺專為可擴展性而設計,允許廠商在技術進步和開發新的設備節點時升級生產能力。全新的2300 Versys配備了先進的基板轉移機器人,能夠進行各種各樣的蝕刻和灰化工藝。其最大容量為五個300毫米晶圓,處理時間可達300秒。它還配備了尖端的高分辨率閉環局域掃描儀,為所有蝕刻和灰化操作提供了極致的精度和精確度。先進的LAM RESEARCH 2300 Versys能夠處理蝕刻、灰化和冷凍蝕刻工藝。蝕刻和灰化過程包括去除層層的材料以在基板上產生設計的圖樣。在晶圓廠工藝中使用蝕刻和灰化來繪制各種尺寸和形狀的圖樣特征,如金屬線、晶體管和電容器。2300 Versys也有冷凍蝕刻能力。在此過程中,使用極冷來蝕刻不需要的材料。這種冷蝕刻工藝對於110納米及以下技術至關重要,因為這種技術需要極高的精度。LAM RESEARCH 2300 Versys還通過其先進的技術減少了工藝時間並優化了工藝分布,從而確保了卓越的正常運行時間和工作效率。Versys系統與多種材料兼容,從SiO2和SiN等易於加工的電介質,到較難加工的材料以及金屬。這樣可以確保2300 Versys非常適合許多不同的應用程序方案。從芯片設計師的角度來看,Versys架構允許了巨大的靈活性,允許通過添加定制配方產生更多的自定義模式。此外,該系統在提供卓越結果的同時還具有足夠的靈活性以處理未來技術的經驗。總而言之,LAM RESEARCH 2300 Versys是一款卓越且先進的蝕刻器和asher,提供高端工藝、可擴展性以及極致的精確度和精確度。對於那些處理最新技術並希望確保最大生產力和質量的公司來說,這是一個完美的系統。
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