二手 LAM RESEARCH 2300 Versys #9044491 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys是一款蝕刻器/asher,旨在為蝕刻和灰化應用程序提供高生產力和高級工藝靈活性。2300 Versys構建在具有HotWafer功能的Dual Pocket Lock平臺上,可減少吞吐量延遲,從而允許在任何給定配方下實現更高的吞吐量。該系統配有多種蝕刻、清潔和灰分技術，用於不同的應用，包括反應性離子蝕刻（RIE）、等離子體浸入式離子沈積（PIID）、電子回旋共振（ECR）和動力學電感沈積（KID）。它的模塊化設計將蝕刻機械的所有必要元素-源、腔室、控制器和電源-整合到單個機箱中,從而便於安裝和維護。與傳統蝕刻系統相比,LAM RESEARCH 2300 Versys還提供了更高的工藝靈活性、更低的擁有成本和更低的材料成本。2300 Versys可配置用於生產和研究應用程序,實現定制配置,以實現最佳的生產效率、正常運行時間和可重復性。其可靠、高性能的射頻和微波發電機的尺寸特別適合有限的壽命維護。可調源/腔室隔離系統支持低電流等離子體的生成，而靈活的自動調諧控制則可實現快速、準確的工藝設置。此外,LAM RESEARCH 2300 Versys具有集成的質量流控制器和氣體面板,可實時控制和監測過程中的氣體,以及快速作用的反應室門和塵埃過濾器,可提供卓越的防塵和快速的晶片裝卸。總體而言,2300 Versys為蝕刻和灰化應用程序提供了高水平的性能和靈活性。它的先進技術和集成系統確保了生產和研究環境的高可靠性和吞吐量。