二手 LAM RESEARCH 2300 Versys #9282474 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys etcher/asher是一款最先進的設備,旨在提供高吞吐量處理和更大的工藝靈活性。該系統專門設計用於將完整的3維模具加載到具有很高通量和過程重復性的基板表面上。它提供了廣泛的工藝功能,包括反應性離子蝕刻（RIE）、等離子體蝕刻和灰化。Versys采用先進的章魚多噴射原位過程控制,能夠實現業界領先的統一性。它還具有對溫度不敏感的蝕刻速率和可調屏蔽能力，可以提高工藝參數的精度和控制。其他功能包括可變壓力範圍、自動控制預編程蝕刻速率以及控制三維結構的能力。Versys還提供了將反應性離子蝕刻整合到各種蝕刻室中的能力。這樣可以將設備放大以適應專門的蝕刻應用程序。該機還配備了提供基板精確對準定位的多軸分級平臺，以及控制工藝條件、提供高均勻性的全集成真空工具。Versys采用先進的用戶界面和直觀的編程工具進行設計,以確保高效有效地生產蝕刻產品。其先進的軟件促進了基板選擇、位置控制和工藝選擇的微調。內置的設計庫允許為批處理輕松高效地檢索和傳輸過程參數、形狀和掩碼。最後,該資產具有模塊化設置和傳輸索引器,允許在工具之間或從一臺機器到另一臺機器進行快速、輕松的處理。2300 Versys 蝕刻器/asher是一種高級型號,它提供了一個新的精確度和對蝕刻和灰化過程的控制級別。其先進的軟件、集成的真空設備、多軸分級平臺，使得3維模具結構的精度和生產都得到了更大的提高。此外,其直觀的用戶界面、設計庫功能和設計庫允許高效高效的生產。