二手 LAM RESEARCH 2300 #293618787 待售

LAM RESEARCH 2300是一個專門的蝕刻器/asher設計，精確蝕刻或粉刷各種材料的高精度。2300系列利用基於等離子體的蝕刻工藝來均勻地有效地去除達到所需深度的物料層。作為精密工具,LAM RESEARCH 2300系列具有先進的功能和精密的組件,可確保操作精度和可靠的性能。2300系列配備2「或4」熱卡盤，用於處理各種尺寸的基板。卡盤由先進的控制設備提供動力，該設備提供動態蝕刻配方，並可能導致各種蝕刻速率和深度。機器的用戶界面全面而直觀，其3.2ghz處理器提供高速處理能力。LAM RESEARCH 2300系列利用多種蝕刻氣體提供一致的結果，最大限度地減少汙染，減少對基板的損害。2300系列還采用了獲得專利的感應加熱技術（IHT）,可確保在基板表面均勻蝕刻。溫度控制精度為0.01°C, IHT系統優化了蝕刻均勻性,最大限度地減少了屈服損失.此外，LAM RESEARCH 2300系列還帶有電子回旋共振（ECR），產生蝕刻氣體和離子，用於淺層蝕刻制備。該機可配置不同的進料氣體，以確保最佳蝕刻速率和深度。在安全和維護方面，2300系列有封閉式設計，以盡量減少接觸有害氣體。LAM RESEARCH 2300系列還配備了防靜電塗層、音質窗以及綜合安全單元。此外,該機器還具有全面的維護管理機器（MMS）,可提供可靠的度量和報告功能。總體而言,2300系列是一款高級蝕刻器/asher,旨在以精確、快速和高效的方式處理復雜的蝕刻應用。LAM RESEARCH 2300系列通過先進的特性和精密技術提供可靠的性能,以滿足高級蝕刻應用的需要。