二手 LAM RESEARCH 2300 #293654544 待售

LAM RESEARCH 2300是一種行業領先的反應性離子蝕刻器和在加工室中操作的asher。這個全自動系統能夠在蝕刻和灰化過程中實現精確的線性、均勻性和可重復性。2300專為半導體和研發行業而設計,具有靈活性和準確性,可滿足各種工藝的需求。LAM RESEARCH 2300利用精密的淋浴頭設計創建統一的蝕刻輪廓。這種結合的設計創造了一個更高效、更均勻的蝕刻過程，最終導致更精確的蝕刻深度和整個晶圓的均勻性。2300還被設計成一個完整的一體系統，提供更好的可及性和增強服務。通過一件式安裝,晶圓保護區域之外的架空軌道將保持在最小總空間要求。LAM RESEARCH 2300配備了最新的工藝技術，包括高頻和功率調制，能夠在氣流或壓力之間進行蝕刻選擇，可變車載氣體成分，可變氣流控制，可變功率控制。這些功能可一起用於優化針對特定應用程序類型的需求而定制的蝕刻過程。此外，2300還提供溫度控制和均勻性，在整個晶片上提供高度精確的過程控制和均勻的溫度分布，有助於可靠和可重復的過程。LAM RESEARCH 2300除了具有高度精確的流程外,還具有先進的安全功能。這些功能包括Virtual Guard Technology （VGT），一個嵌入式傳感器系統，連續監視相對於晶圓保護區域的保護屏蔽，保護設備和用戶免受使用不當造成的任何潛在危害。總之，2300提供了一種精確、可靠和自動的工藝，能夠滿足各種工藝的需求，包括半導體和研發行業。它的一件式設計和虛擬防護安全技術使其成為所有蝕刻和灰化需求的理想解決方案，無論應用類型如何。