二手 LAM RESEARCH 2300 #293657750 待售

LAM RESEARCH 2300是專門為半導體和其他微電子應用而設計的蝕刻器/asher。2300利用先進的等離子體蝕刻技術為精密蝕刻最復雜的設備結構創造環境。它的工作原理是產生等離子體放電，從而在室內產生高溫條件，從而實現清潔和精確的蝕刻過程。然後用戶設置一組蝕刻參數,如時間、功率、氣體成分和壓力。然後,LAM RESEARCH 2300將自身配置為對被蝕刻的特定結構和材料進行最佳處理。2300使用兩級電容耦合等離子體源和一Step™基板卡盤表之間的脈沖射頻等離子體放電。這項技術允許在整個蝕刻過程中進行出色的工藝控制。LAM RESEARCH 2300裝有LAM的智能處理控制器，用戶可以通過系統的計算機界面控制和監控蝕刻過程。此控制器可以自動排除任何蝕刻問題,並向用戶提供即時反饋。2300還能夠在整個蝕刻器中產生均勻的等離子體密度,利用各種氣體進行最佳的過程控制,並在物理特性和蝕刻剖面上為多個過程步驟提供高度的均勻性。它還包括橫梁剖面圖和產品質量維護的橫向控制等功能。對LAM RESEARCH 2300進行了優化,以實現晶片的快速交付和有效運行,且維護最少。它采用業界領先的Precision Modular®軌道設計,使用戶能夠減少基板傳輸和蝕刻的時間,從而提高設備產量和更清潔的處理。總體而言，2300是一種多合一蝕刻和灰化器，具有先進的蝕刻和灰化技術，旨在為各種半導體和其他微電子應用提供精確和均勻的蝕刻工藝。它旨在提供最小維護的高精度蝕刻結果,同時保持最佳基板吞吐量時間。