二手 LAM RESEARCH 2300 #9032646 待售

LAM RESEARCH 2300是一種用於薄膜沈積和加工的最先進的蝕刻器/asher。它是一種高度精密的自動化精密電鍍工具，可用於半導體、平板顯示器（FPD）和薄膜光伏（PV）制造等行業的多種應用。2300提供了與可選的多晶圓平臺配合使用時生成多達4,096個獨立晶圓模式的能力。它還具有高級流程控制功能,包括預編程配方和實時流程監控,以及可支持多達8個流程站和多達8個流程室的模塊化設計。LAM RESEARCH 2300配備了集成抗蝕劑輸送系統、激光引導自動潤濕性分析（LGS-AWP）等降低沈積成本、最大限度減少處理時間的先進工藝技術。該機器能夠提供從預處理到後處理的完整電鍍解決方案,在各種晶圓尺寸上具有很高的可重復性和均勻性。其快速的熱特性消除了手動晶片掩蔽的需要，而其固態電源則提供了出色的功率輸出穩定性和配方的緊密可重復性。此外,通過預編程配方和實時流程監控,2300提供了出色的流程一致性和性能。對於先進的精密薄膜沈積和加工需要而言，它是一種可靠、精密的蝕刻/粉碎器選擇。