二手 LAM RESEARCH 2300 #9176731 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9176731
晶圓大小: 12"
優質的: 2002
Poly etcher, 12"
(2) Chambers
(12) Enhanced poly gas boxes:
(12) Unit 1660 and 1661 MFCs:
Unit 1661 tbd
Unit 1661 tbd
Unit 1661 CL2 250 sccm
Unit 1661 Tbd
Unit 1661 CF4 200 sccm
Unit 1661 tbd
Unit 1661 NF3 300 sccm
Unit 1660 He 200 sccm
Unit 1660 HBr 200 sccm
Unit 1661 N2 250 sccm
Unit 1660 Ar 100 sccm
Unit 1660 O2 200 sccm
P/N: 571-471052-001
Currently de-install and warehoused
2002 vintage.
LAM RESEARCH 2300是一款先進的、大容量的等離子體蝕刻器/asher。它設計用於在高度集成的全自動設備中加工各種基板。該系統具有最先進的過程控制功能,配有一整套傳感器、控制器和軟件,使用戶能夠以最高效和最具成本效益的方式處理其基板。2300能夠為包括CMOS和MEMS設備、光刻膠、無鉛合金和醫藥基材在內的一系列基材以及銅、鋁、鎳、鈦等常見金屬提供高質量的蝕刻/灰化應用。LAM RESEARCH 2300在大型基材區域提供高長寬比的蝕刻和清潔，也具有處理不同形狀和大小基材的靈活性。2300采用了獨特的低壓蝕刻工藝，消除了過度的金屬濺射，提供了卓越的蝕刻性能和均勻性，延長了泵的壽命，減少了基板上的殘留物。該工藝可以進行調整，以滿足基材和應用的具體要求，同時還提供了高選擇性、重復性和重復性。該裝置配備了一系列先進的功能，包括全自動的腔室到腔室流量控制機、具有流量和壓力控制的高度可配置的配方驅動工具、實時過程監測以及具有可控流量的各種過程氣體。此外，LAM RESEARCH 2300有一個自動化的氣體混合資產，允許操作員控制氣體混合，這是蝕刻效率和過程控制的關鍵參數。該型號還配備了先進的安全功能，提供了對工藝氣體的安全密封，防止過高的工藝範圍，並在工藝故障時自動關閉。總體而言,2300為各種基材和應用提供了高度可靠、靈活且經濟高效的蝕刻解決方案。
還沒有評論