二手 LAM RESEARCH 2300 #9377279 待售

LAM RESEARCH 2300是一種為晶圓處理應用而設計的蝕刻/asher設備。它能夠從各種尺寸的晶片中蝕刻、去除和沈積材料。2300系統為高吞吐量、可重復精度和低擁有成本而設計。LAM RESEARCH 2300 蝕刻器/asher可以處理55mm至200mm的晶圓尺寸。它能夠沈積和蝕刻具有廣泛蝕刻速率的材料，包括但不限於多晶矽、聚酰亞胺、氧化物、氮化物和金屬。它還具有精密蝕刻功能,可幫助創建高質量的特性,並具有嚴格的過程控制功能。在特點上，該機組配備了多區真空基蝕刻室、氮氦氣凈化系統、提供高度精確輸送蝕刻氣體的低溫泵、蝕刻用離子源以及高速基板輸送機。該工具還包括可實現流程優化的現場診斷資產。2300的蝕刻均勻性在處理類似大小、厚度和材料的晶片時是高度可重復的。其真空膜沈積能力也使其能夠對材料進行半選擇性沈積。此外,該模型旨在為操作員提供安全的工作環境,並具有其他安全功能,如傳感器設備,如果檢測到不安全的情況,該設備將自動關閉系統。該單元還具有圖形用戶界面（GUI）,允許用戶輕松監視和控制流程參數及其他設置。GUI還允許用戶上傳自定義配方以加快蝕刻過程。LAM RESEARCH 2300 蝕刻器/asher與同一高端供應商的任何其它機器一樣可靠且支持良好。其易用性和精確的蝕刻能力使得它成為許多晶圓處理應用的首選。