二手 LAM RESEARCH 2300 #9407004 待售
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ID: 9407004
優質的: 2006
Etcher
EFEM
TM
AC Rack
Spare parts
(4) PTC LANTRA 1300
Load port
RF Cart
Gas frame
RPDB
Gas box
2006 vintage.
LAM RESEARCH 2300是由LAM RESEARCH Corporation開發的業界領先、先進的濕蝕刻/灰化設備。該系統專為處理高密度半導體晶片而設計，提供卓越的蝕刻一致性和均勻性。2300單元被設計為提供比以前可用的濕蝕刻系統更高的性能水平，並具有屢獲殊榮的專利技術，提供業界領先的蝕刻速率、均勻性和準確性。LAM RESEARCH 2300包括一臺提供各種工藝氣體的化學輸送機（CDS），以及兩臺用於精確控制基板溫度的熱交換器。CDS和熱交換器均通過嵌入式控制器進行主動維護和優化,以確保可靠、可重復和一致的蝕刻性能。2300還包括一個裝有先進蝕刻等離子體生成源的工藝室。這種獨特的光源能夠產生大量不同的等離子體類型和頻率，並且與CDS和熱交換器協同工作，在整個晶圓密度範圍內提供優越的蝕刻結果。此外,LAM RESEARCH 2300工具易於安裝和維護,具有多種安全和診斷功能,有助於確保可靠和安全的操作。該資產還與廣泛的晶圓載體兼容，每天支持多達四百萬個晶圓，為大規模生產提供了極高的吞吐量。總之,2300是一種功能強大的高級蝕刻和灰化模型,可提供最高級別的性能和可靠性。該設備結合了業界領先的硬件和軟件,可確保在各種工藝和基板類型中獲得卓越的效果,而其直觀的設計和診斷功能可簡化設置和維護。
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