二手 LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX #9354411 待售

LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX是一款為先進的半導體加工應用而設計的蝕刻/asher設備。它采用優化、先進的蝕刻和粉刷工藝，對半導體晶片進行快速、靈活和可重復的處理。該系統專為處理先進半導體加工中具有挑戰性的工作而設計。2300e4單元通過其靈活的加工和先進的蝕刻/asher配方控制提供快速、可重復的晶片處理。即使在處理多種不同的幾何形狀時,加工頭也能確保精確地在晶片上快速移動。通過其「智能處理器」功能,2300e4機器可以自動調整配方參數以優化蝕刻或灰度速率,從而獲得更高質量的結果。2300e4內置的功能集可確保可重復和可靠的結果。自動端點檢測和過程監控有助於保持均勻性和均勻的晶圓厚度。這些特性加上一個可靠的環境管理工具，導致最低的缺陷率，以及一致的蝕刻/灰度率和均勻性。2300e4資產包括高性能、低維護的軟件包。軟件包提供易於使用且功能強大的圖形用戶界面、診斷和過程控制、配方構建、流程日誌和配方管理功能。該模型還包括一個健壯的蝕刻/asher配方庫，可以根據需要進行編輯和定制。設備還提供全面的過程監測和驗證，以確保一致的蝕刻/灰度率。2300e4 Exelan Flex DX etch/asher系統設計用於可靠、高效和可重復的多幾何半導體晶片處理。此單元通過高級蝕刻/asher配方控制提供快速、靈活和可重復的處理。內置的功能集為均勻性和均勻的晶圓厚度提供自動端點檢測和過程監控。用戶友好且功能強大的圖形用戶界面使etch/asher配方構建和過程控制易於使用。2300e4機是先進半導體加工應用的理想解決方案，提高了工藝產量和均勻性。