二手 LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX #9385701 待售
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已售出
ID: 9385701
晶圓大小: 12"
優質的: 2015
Dielectric etcher, 12"
Type: (3) FOUPs
User interface: Side and front monitor U
(3) Hermos Carrier ID
Light curtain with OHT / RGV
25 Slots input buffer station
UPS Circuitry system
Earth leakage breaker
TM-Subpanel cable: 100 ft
Calibration and alignment system
Air intake system: MEV
NSR8423 Hardware firewall
Differential pressure: ATM
4XX Series ESC
Flow meter: 10 GPM
Dual PM facilities
With temperature monitor
Generator: 60 MHz
Adjustable Gap
Dual zone ESC cooling
Standard conductance kit
Heated foreline manometer
(4) Non-Qual Pump
(4) Non-Qual 2 Ch TCU
Interconnect hardware:
Pump to TCU: 100 ft
TCU to PM: 100 ft
Pump to PM: 100 ft
EMO Cable:
TCU to RPDB: 50 ft
Pump to RPDB: 50 ft
Talon
Quick clean kit
(3) 2300 Gas boxes
(40) Jetstream gas lines
(8) Heated gas lines
(4) NSR MFC
(17) Facility interface boxes
2015 vintage.
LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX是一款蝕刻器/Asher,具有多種高級技術,可實現精確控制、靈活性和性能。該設備由LAM的Exelan Flex DX控制系統提供動力,該系統提供全面的軟件集成和全面的功能,包括可選的O2 ETCH或高速率O2 asher操作、擴展的蝕刻控制、基於溫度的過程控制和溫度分析。該單元包括一個4位，42-in4，過程合格的爐膛與一個可移動的加熱器組件，以最佳的均勻性。爐膛內襯陶瓷包覆耐火材料，最高工作溫度可達1600°C，並選配250瓦射頻發電機，用於VHF或ECR蝕刻。Exelan Flex DX軟件允許輕松、精確的流程設置和模擬,並允許用戶使用自己的自定義參數保存多達64個流程配方。集成氣體輸送機是無與倫比的，可以精確地引入最多四種氣體，這些氣體用單獨的流量和凈化來進行蝕刻或灰化。壓力和流量以及O2和Ar水平可以立即通過集成流量控制器進行監測和調整。電解質催化劑模塊使用戶能夠將他們的反應知識擴展到不僅僅是蝕刻或灰化之外，包括薄膜生長、電解清潔和擴散等過程。2300e4 Exelan Flex DX還包括一個先進的精密濺射模塊，提供對目標和功率的獨立控制，以確保濺射均勻性。該工具采用集成的快門關閉機構、便於樣品處理的旋轉室和四渦輪分子泵。這些功能結合在一起,實現了更高水平的表面準備,使用戶能夠使任何過程都更易於重復和可靠。
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