二手 LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX #293766466 待售
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ID: 293766466
優質的: 2018
Dielectric etcher
(4) 2300 Flex GX
2300e4 Platform
(4) Heated foreline manometer
(4) Chemraz vacuum valve
(4) NSR102216, RPDB for GX
(4) NSR102105, FLEX GX PM
Flex GX Quick clean kit
(4) 2300 Flex GX Jetstream gas box
3 Foup TDK
(4) Hermos carrier ID
WIDS Btm read
RGV/OHT PIO Sensor
Conditioning station (7 Wafer)
25 Slot aux buffer
VTM Pump: Edwards (EPX)
Vespel single sense
User interface: Side and front monitor
System UPS circuitry
Earth leakage breaker
Cable: TM-Subpanel, 100ft
Signal light tower, R-O-G-B Slim line
Light curtain
Input buffer corr res without Exh
Sys calibration and alignment
Service step for PM
VTM Robot lift
Robot CDM
Light tower buzzer
Metric to inch conv Fittings
APCS
NSR10702, N2 Flow monitoring on UP
Gas box:
(36) Jetstream gas line heated
(16) Gas line additional tuning
(4) Gas line non standard MFC
(9) NSR102690, Flex GX Gas line
(8) Flex GX Tuning Gas option
(1) Facility interface box
(17) Facility interface box
AFVi
2018 vintage.
LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX是一款為半導體制造工藝而設計的先進蝕刻/asher設備。這種最先進的工具為蝕刻和灰化應用程序提供了一系列功能,在生產環境中提供了高精度和可靠性。該系統結合了創新技術和人性化功能，以滿足半導體行業的苛刻要求。2300e4 Exelan Flex GX具有支持各種蝕刻和灰化工藝的多功能平臺,適合半導體制造的廣泛應用。它配備了先進的等離子體源、氣體輸送系統和工藝控制技術，能夠對選擇性、均勻性、工藝速率等蝕刻參數進行精確控制。該單元在流程開發和優化方面提供了靈活性,使用戶能夠為其特定應用程序獲得最佳結果。集成到LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX中的關鍵技術之一是Exelan Flex高級控制機，它提供實時監控和調整過程參數。此工具提供卓越的流程控制功能,使用戶能夠實現跨晶片的高流程一致性和可重復性。Exelan Flex控制資產還支持高級流程配方,並能夠輕松與其他流程工具集成,從而實現無縫生產工作流程。2300e4 Exelan Flex GX專為高生產率和吞吐量而設計,具有高級自動化功能,可縮短周期時間並提高運營效率。該型號配備了多腔室配置，允許對多個晶片進行並行處理，從而實現高吞吐量和最大限度地提高設備利用率。該設備還具有快速的腔室間傳輸時間和高效的晶圓處理機制，以盡量減少閑置時間並提高整體生產率。此外,LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX還集成了高級流程監控和診斷功能,以確保最佳性能和流程穩定性。該系統配備了現場計量工具，用於對關鍵流程參數進行實時監測，從而能夠快速檢測流程偏差和調整，以保持流程完整性。該設備還具有高級故障檢測和預測算法,可幫助防止過程中斷並最大程度地減少停機時間。總體而言,2300e4 Exelan Flex GX是一款尖端蝕刻機/asher機器,為半導體制造過程提供高級功能。憑借其創新的技術、用戶友好的功能和高的生產率，該工具非常適合滿足半導體行業的嚴格需求。無論是用於蝕刻、灰化還是其他工藝應用,LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX都能為高產半導體生產提供一致、可靠的性能。
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