二手 LAM RESEARCH 2300e4 KIYO MCX #9252292 待售

LAM RESEARCH 2300e4 KIYO MCX是一種多室蝕刻器/asher，設計用於半導體工業中的體積生產，用於矽片的蝕刻和灰化。它提供了一個可靠、高度自動化的解決方案,可滿足深度蝕刻和超精細灰泥的需求。KIYO MCX提供高效的氣體利用率、高吞吐量和高工藝質量。KIYO MCX旨在提供超精細的蝕刻和灰化工藝,這對於高下降速率、間隙形成和階梯覆蓋至關重要。它融合了LiPS（光刻、等離子源）和IMPRIME（電離金屬板反應堆）等先進技術，提供了高精度、嚴密控制蝕刻速率的高端蝕刻工藝。KIYO MCX還采用了新的富含氙氣的F2化學，以增強工藝性能和靈活性。KIYO MCX配置有兩個雙室和一個單室。每個雙腔室分別設計用於蝕刻工藝和灰化工藝。位於這些雙腔室之間的單室配置用於物理清潔和粘附清潔。KIYO MCX腔室利用ICP（感應耦合等離子體）、Sub TIP（亞熱電離）和外腔源（ECS）等最新技術提供優異的性能。所有三個腔室都集成到一個單元中,並由自定義運動控制器集中管理。KIYO MCX還提供了廣泛的控制和安全功能。它配置了內部安全傳感器和客戶可調節的地板級緊急停車。它還配備了先進的熱監測和隔離系統，以保護過程免受熱沖擊。此外，KIYO MCX是為高效利用氣體而設計的，可降低氣體消耗和成本。此外,它的高級軟件還提供流程監控、配方執行、分析功能和數據記錄系統。KIYO MCX 蝕刻/asher系統是專門針對半導體行業的量產需求而設計的。通過結合先進的技術如LiPS、IMPRIME、富銨F2化學、ICP、Sub TIP和ECS，能夠以極高的精度提供卓越的蝕刻/灰化工藝。此外,它還提供了廣泛的控制和安全功能,這對於大批量生產過程安全至關重要。最後,它的高級軟件提供了流程監控、配方執行、分析功能和數據記錄系統,以最大限度地提高流程效率和節省成本。