二手 LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX #293751704 待售

LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX是一款用於先進半導體前端器件制造的下一代蝕刻器/asher。這款蝕刻器/asher將市場領先的Exelan單晶片蝕刻技術與全新的多模式腔室設計和幾項性能增強相結合。這個先進的蝕刻平臺具有大量集成的過程模塊,可提高靈活性、吞吐量和產量。Exelan Flex EX 蝕刻器/asher具有廣泛的工藝能力,可用於各種具有寬工藝窗口的蝕刻和灰燼應用程序。該系統采用高能源和蝕刻源的單晶片直接源配置，提供卓越的蝕刻均勻性和產品質量。其專利的Active Asher技術在灰燼操作過程中提供了卓越的端點控制。其先進的多模式腔室旨在實現過程的靈活性，並以每晶圓的低成本促進更大的體積吞吐量。此外,Exelan Flex EX還提供直觀的專有控制系統,以確保在蝕刻和灰化操作過程中易於使用和控制的準確性。此控制系統提供了一整套流程監控、控制和診斷功能,可用於全面的流程管理。它還配備了集成的硬件和軟件工具，以便能夠快速適應不同的流程需求和應用。Exelan Flex EX 蝕刻器/asher是包括超高密度器件制造在內的先進半導體生產環境的理想選擇。其強大、可擴展的平臺旨在提供可重復、可靠的結果,同時降低成本和維護要求。2300e5 Exelan Flex EX具有高效率、卓越的工藝能力和卓越的工藝控制,是當今最先進的半導體器件制造實現優化性能和產量的理想選擇。