二手 LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX #293758911 待售

LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX是一種蝕刻器/asher,專為多種工藝而設計,在各種基材上。它配備了一個2650 mm x 1950 mm的大型加工區，允許它一次最多容納三個全尺寸300 mm晶圓。硬件設計為包含四個進程區域、集成多進程（IMP）模式和8個可選區域配置。2300e5設計用於提供高級工藝控制和低金屬化漂移（LMD）功能,並具有可選的室內光學傳感器,可實現更高的工藝重復性和均勻性。該系統采用自動化送貨設備，可方便快捷地處理基板，並具有先進的安全聯鎖系統，可降低操作過程中人與腔室部件接觸的風險。2300e5具有多種功能,可實現快速高效的流程。這些特點包括實時調整射頻、氣體和溫度控制、快速熱退火（RTA）單元和大尺寸真空泵，以方便快速撤離。這臺機器是高度可定制的，有一系列的等離子體源，電源，和工藝配方。Exelan Flex EX還提供全面的監控和報告功能,包括實時顯示過程變量、自動校準和自動間隙和焦點校準、現場蝕刻速率監視器以及RTP程序。可以通過CCom和串行接口或通過以太網連接的用戶界面訪問2300e5的內置硬件、軟件和控制。2300e5 Exelan Flex EX旨在為用戶使用多種工藝在多個基板上提供高效可靠的蝕刻和灰化工藝。它結合了先進的硬件和軟件，非常適合各種應用，從先進的半導體加工到工業印刷和塗層。LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX具有處理多達三個全尺寸300 mm晶圓的功能,並具備工藝控制、某些分析和監控功能、快速退火和自動化交付工具等功能,是一款功能廣泛、功能強大的蝕刻器/Asther。