二手 LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX #293668506 待售

LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX（Chemical Mechanical Planarization）蝕刻器/asher是一種革命性的蝕刻工具，用於將復雜的特征蝕刻成多種材料。它是一種專門為研發和生產應用而設計的多室蝕刻器和asher設備。2300e5 Exelan Flex FX利用化學機械平面化工藝（CMP）在任何材料中均標明高度準確且一致的統一特征,對尺寸或形狀沒有限制。該機配備了一個雙蝕刻室，能夠產生高達0.075微米厚的特性，並結合一系列離子轟擊和濕法或幹法化學蝕刻。腔室可以設置為單個蝕刻、兩個蝕刻和單個修剪或組合蝕刻/修剪操作。所有這些都可以就地完成,而無需切換資源。機器還具有內置晶圓跟蹤系統，使用戶能夠監督正在進行的蝕刻過程，並審核過程和蝕刻配方的跟蹤。甚至可以設置軟件來監視過程的端點,以確保晶圓被正確蝕刻。該蝕刻器/asher設計有一個安全互鎖單元，可消除未經授權而發生晶圓斷裂或篡改的任何風險。水箱和水泵系統對每種蝕刻劑都是隔離的，確保不存在交叉汙染或不同蝕刻劑意外混淆的可能性。LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX最顯著的特性之一就是其先進的自動化功能。整個過程由一臺控制機器管理,該機器能夠與其他制造控制系統集成,並有助於確保可重復的結果。該工具還配備了一個OPCUA通信協議，用於連接到其他本地和遠程機器。2300e5 Exelan Flex FX是一款用途廣泛、可靠的蝕刻器/asher資產,專為生產、研發應用而設計。該機結合了先進的精密特性和自動化能力，使其能夠以高精度和重復性蝕刻復雜特性。這為制造商提供了更大的靈活性和成本效益,使他們能夠在短時間內完成復雜的蝕刻過程,且浪費最少。