二手 LAM RESEARCH 2300e5 KIYO EX #293637365 待售

LAM RESEARCH 2300e5 KIYO EX蝕刻/灰分設備是一種重型多室系統,設計用於各種深層蝕刻和灰分工藝,用於先進的半導體器件制造。KIYO EX用於生產高長寬比蝕刻結構，精度很高，蝕刻深度範圍很廣。它配有用於精確基板定位的5軸表和多種蝕刻和灰燼工藝室，包括低壓化學氣相沈積單元、深反應性離子蝕刻器（RIE）機和感應耦合等離子體（IPC）工具。該資產與厚度可達4mm的常規晶片和Pyrex晶片兼容。KIYO EX的RIE型號配備了更新的硬件和軟件組件，使Si、SiGe、SiC等一系列矽基材料中的深而窄的溝槽能夠實現高速、精確的蝕刻。它還包括一個具有廣泛氣體混合物和射頻頻率的連續等離子體源，允許精確調整蝕刻速率和深度剖面。IPC設備具有寬/凸起的源天線和較大的有效區域,能夠對難以蝕刻的材料進行低功率操作。它還配備了一個板載除簇模塊和特定材料調整蝕刻參數的能力。KIYO EX系統還提供了幾種流程自動化功能，如晶圓映射和腔室清除，以提高流程的可重復性和正常運行時間。它還通過光學、熱和計量模塊集成支持先進的基板處理和質量控制。高級過程控制選項（如閉環蝕刻監測）也允許精確的過程優化。除了廣義蝕刻和灰燼處理之外,還可以為各種高級處理和特征大小配置該單元。2300e5 KIYO EX蝕刻/灰分機具有靈活的加工能力，為晶圓制造提供了一個功能廣泛、功能強大的平臺。