二手 LAM RESEARCH 2300e5 KIYO EXP Poly #293809868 待售
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單擊可縮放
ID: 293809868
晶圓大小: 12"
優質的: 2017
Etcher, 12"
3-FOUP TDK
Light curtain with OHT/RGV
25-Slot aux buffer (corr res)
Conditioning station (7 wafer)
User interface: Side and front monitor
UPS Circuitry
Earth leakage breaker
Cable: TM-Subpanel, 100 feet
Signal light tower, r-o-g-b slim line
VTM Pump: EDWARDS (EPX)
Light curtain
APCS
SVID and Facility interface board
VTM Breakout board/cover
ATM Robot removal kit
Light tower buzzer
NSR10702, N2 Flow monitoring on UPC
NSR101435,TM UPS Bypass kit with Maratho
VTM Robot Lift
Ionizer kit
Robot CDM
STRIP45 and OES Endpoint option
Stainless steel with 5/8-1/2 reducer
2700 l/S BOCE Turbo pump
Gas feed: Top and side
Bias match: 1.5kW HVBP Sync
NSR100999, Chamber exhaust duct
NSR101420, FWD Build Kiyo EX for 173 LTC
NSR101836, Kiyo EXP Chamber process manom
NSR102151, NSR for Kiyo EXP
PM Maint: Quick clean kit
Gas box:
(3) 9-Gas configurations (jetstream)
(21) Jetstream gas line
(9) Heated gas line
AFVi
JS Gas box
(3) NSR100802, GL14 C4F8(100), TG1C4F6(100H)
Facility interface box (system)
(17) Facility interface boxes (per line)
(2) Future PM Containments
2017 vintage.
LAM RESEARCH 2300e5 KIYO EXP Poly是一款高度先進的蝕刻/asher設備，專為微電子工業中的半導體材料精密高效加工而設計。這款尖端工具是LAM RESEARCH知名2300系列的一部分,以其在半導體制造過程中的高性能、可靠性和多功能性而聞名。2300e5 KIYO EXP Poly整合了一系列創新技術和功能,在蝕刻和灰化過程中實現卓越的控制和均勻性。其主要亮點之一是KIYO感應耦合等離子體（ICP）源，它提供高密度等離子體，具有卓越的過程穩定性和可重復性。這種先進的等離子體源對於在晶片表面實現精確的蝕刻輪廓和均勻的材料去除至關重要。該系統配備了用於蝕刻和灰化各種材料的擴展工藝能力，包括半導體器件制造常用的聚合物薄膜。其增強的工藝靈活性允許優化各種蝕刻化學和配方參數，以滿足不同設備設計和材料的具體要求。LAM RESEARCH 2300e5 KIYO EXP Poly具有高度可配置的腔室設計,具有多種晶圓處理選項,能夠無縫集成到不同的生產環境和處理工作流程中。該單元同時支持單晶片和批處理模式，為運營商提供了根據吞吐量和工藝要求選擇最合適方法的靈活性。在過程控制和監控方面，2300e5 KIYO EXP Poly配備了先進的端點檢測能力、實時過程監控工具以及配方調優功能。這些功能使操作員能夠實時監控蝕刻/灰化過程的進度,即時調整過程參數,並確保從運行到運行的一致和可靠的結果。此外，這臺機器的設計側重於生產力和成本效益，包括快速腔室清潔協議、高效氣體輸送系統和自動校準機制等功能。這些增強有助於最大限度地減少停機時間、降低維護成本以及提高半導體制造設施中的整體刀具利用率。綜上所述，LAM RESEARCH 2300e5 KIYO EXP Poly是一款最先進的蝕刻/asher工具，結合了先進的等離子體加工技術、靈活的腔室配置，以及堅固的過程控制特性，在半導體制造中提供高性能和可靠的聚合物材料加工。憑借優越的工藝控制、卓越的均勻性和多用途的能力，這款工具是尋求實現高質量制造成果、加快下一代器件開發的半導體企業的寶貴資產。
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