二手 LAM RESEARCH 2300e5 KIYO MCX #9252293 待售

LAM RESEARCH 2300e5 KIYO MCX是目前市面上的一種蝕刻/asher設備，用於多種應用。它是一個多室系統，有四個集成的工藝室，提供蝕刻和真空輔助化學清洗。這個單元有一個非常大的腔室，為元件和組件提供寬敞的空間，允許處理更大的基板和獨特的形狀。它可以裝載一個或多個附加組件，如集成的氣泡晶片處理程序，以增加便利和生產力。該機基於可靠的直流中空陰極等離子體源，提供了改進的均勻性和對蝕刻速率和選擇性的精確控制。它可以在一系列蝕刻化學中實現均勻的蝕刻速率，並且設計用於對各種材料進行非常快速的蝕刻。這種蝕刻器/asher還利用了可調的吹掃控制功能，使其能夠管理等離子體「大理石」並提高碳汙染清除過程的性能。它具有直流和射頻電源,能夠精確控制蝕刻速率。KIYO MCX還能夠利用一系列溶液進行化學清洗。這可以在真空輔助過程中進行批處理或串聯操作,與批處理過程相比,可實現集成清潔,不需要特殊的設置步驟。與傳統的間歇式清洗相比，真空輔助化學清洗可大大提高清潔質量。該工具配備了控制資產，可提供自動實時快速響應過程控制等高級功能，從而提高了一致性和更好的效果。它還提供自動配方控制以減少工藝的可變性,以及用於監控和處理蝕刻和清潔工藝的大型觸摸屏液晶顯示器。簡而言之,2300e5 KIYO MCX是一種可靠的蝕刻器/asher模型,可用於快速、均勻地蝕刻多種材料,同時使用直流和射頻電源。它還提供高效的真空輔助化學清洗能力，具有先進的自動過程控制。這使得KIYO MCX成為需要快速、一致和可靠結果的生產環境的絕佳選擇。