二手 LAM RESEARCH 2300e6 Flex FX #293826568 待售
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ID: 293826568
晶圓大小: 12"
優質的: 2019
Etcher, 12"
(6) Flex FX Process chambers
(6) Gas boxes
Power box
Transfer chamber
2019 vintage.
LAM RESEARCH 2300e6是為精確的過程控制和卓越的性能而設計的下一代蝕刻器/asher。該設備具有高精度蝕刻和粉刷圖樣的能力，能夠精確形成圖樣並減少圖樣缺陷。該系統設計可靠，使用方便，通量高，顆粒汙染小。2300e6提供了廣泛的加工選項，包括高速蝕刻、低溫蝕刻、等離子體沈積和射頻等離子體蝕刻。該裝置具有先進的儀器，用於精確的樣品處理和控制，如自動裝載機、晶圓處理機器人、溫度控制環境和粒子探測器。這臺機器還包括一個計算機控制的集成過程控制工具，用於監視、優化和控制每個過程步驟。它有助於對蝕刻時間、壓力、溫度和氣體進行高精度控制。資產利用經過改進的技術基礎設施，包括高頻電源、溫度控制器、氣壓監測儀和IC負載單元。它還具有集成的診斷，允許用戶監控和調整工藝參數，以提高蝕刻性能。此外，LAM RESEARCH 2300e6還配備了先進的高速成像工具，用於無損過程中的檢查。2300e6適用於顯示器和半導體元件等器件的大批量生產,以及需要精確蝕刻到亞微米級的復雜項目。該工具可確保對蝕刻和灰化過程進行更大程度的控制,從而在成品微電路設備中實現盡可能高的收率。LAM RESEARCH 2300e6能夠將精度保持在1納米以內，並提供200埃的出色分辨率。由於這些先進技術,2300e6在各個工藝領域提供了異常可靠的性能。對於需要精確、可重復蝕刻結果的廠商來說，這是一個極好的選擇。該模型適用於廣泛的蝕刻和灰化工藝，設計用於處理大批量生產與嚴格控制蝕刻和灰化工藝。
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