二手 LAM RESEARCH 2300e6 Kiyo EX #293631692 待售

LAM RESEARCH 2300e6 Kiyo EX是一種先進的蝕刻器/asher設備,專為先進的銅制金屬氧化鋁圖案制造而設計。該系統設計有一個機械對準單元，使高級處理與先進的模式能力成為可能。它提供各種安全的工藝選擇，如化學鈍化、金屬蝕刻和先進的清潔。該機還包括可變基板偏置控制和高級射頻控制等幾種高級工藝控制工具。它采用高功率射頻發電機，提供低至幾十kHz的可調範圍和寬掃描頻率範圍。它有四個獨立的氣源，使用戶可以從各種沈積氣體中進行選擇。另外，它有四個雙鏈射頻線圈，一個PID溫度傳感器和一個閉環射頻幅度和功率控制。蝕刻器/asher工具具有8英寸的電極,可實現更高的分辨率和均勻性,並具有可選的10英寸9英寸和11英寸選項。它擁有多達三個獨立的氣源，一個設計有鋁制車身和先進的定位資產，以提高可靠性。再者，該機組還配備了壓力和溫度傳感器，以及支持潔凈室操作的自監控器。它有液體輸送裝置、真空室清洗裝置和冷卻劑分析模型。2300e6 Kiyo EX設備設計用於半導體制造最先進的應用開發。其特點包括低功耗、高端基板支架和先進的射頻系統。該單元允許用戶高效、準確地對高級結構進行建模。其廣泛的工藝選擇和獨立的氣源使得它成為先進的金屬氧化鋁圖案應用的絕佳選擇。