二手 LAM RESEARCH 2300e6 #9218169 待售

LAM RESEARCH 2300e6是一款高性能、經濟實惠的蝕刻和灰化設備。它旨在提供廣泛的蝕刻/灰化能力，從反應性離子蝕刻（RIE）到化學氣相沈積（CVD）以及所有其他蝕刻和灰化技術。該系統可配置的模塊化體系結構允許用戶自定義其工具以滿足其應用程序的精確處理要求。此外,2300e6還提供了一種在光刻環境中快速、高效且可靠的高速、低成本蝕刻/灰化解決方案。該單元配有一系列工藝工具，包括離子蝕刻（IE）、電子回旋共振蝕刻（ECR）腔室等沈積工具，以及氫和氧等離子體蝕刻腔室。它還具有全自動批處理控制器,提供完整的並行子系統控制.這允許運算符同時配置多個進程參數,並根據需要快速修改這些參數,以實現所需的蝕刻/ashing參數。LAM RESEARCH 2300e6提供了一系列蝕刻/灰分食譜,使用戶能夠定制其加工食譜。此外,計算機還包括多種診斷工具,使用戶能夠控制蝕刻/灰化過程。這些工具包括光譜發射分析、熱電偶測量、厚度測量、薄膜掃描電子顯微鏡等等。2300e6 蝕刻/ashing工具設計具有較高的吞吐量和成本效益。由於其快速的周期時間和允許用戶修改流程配方的模塊化體系結構,該資產是商業、通用和高級蝕刻/灰化應用程序的理想選擇。它的高性能特性和過程可靠性也使其非常適合原型設計、過程開發和研究應用。除了工藝功能外,LAM RESEARCH 2300e6還配備了集成的前端界面軟件,可完全控制所有操作。這允許用戶輕松設置其蝕刻和ashing配方,修改配方的多個步驟的參數,並監視流程。軟件還提供了一個直觀的圖形界面來簡化模型的操作。總體而言,2300e6是一款功能強大、經濟實惠的蝕刻器/蝕刻器,具有一系列高級流程功能和直觀的用戶界面軟件。由於其快速的循環時間和修改配方的能力，這種設備非常適合許多蝕刻和灰化應用。