二手 LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP #293649521 待售

LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP是一款專為生產先進半導體材料而設計的全自動蝕刻器/asher。設備配備了先進的過程控制功能，以確保精確、可重復的過程。2600 E6 Flex FXP的能力在先進半導體材料的開發上是無與倫比的。LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP Etcher/Asher在整個蝕刻和灰化過程中具有最高水平的基材重復性。該系統的核心是晶圓傳輸機制，它在整個蝕刻和灰化過程中提供了較高水平的可再現基板運動和對齊。該單元可實現精確、可重復的尺寸控制和過程一致性。該機設計用於超高分辨率等離子體蝕刻和灰化在平面表面或深溝和側壁進場的應用。2600 E6 Flex FXP還提供高濃度離子源和用於蝕刻的高壓輝光放電,並結合高質量的等離子體灰化,以實現最高的工藝性能。強烈的等離子體為各種應用提供了處理各種晶片類型的靈活性。該工具還利用多個等離子體源來實現高蝕刻速率和寬處理窗口。對於最佳的過程控制，LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP還提供了一整套先進的過程控制反饋和控制功能，包括端點控制和實時溫度/壓力反饋。2600 E6 Flex FXP是任何先進半導體材料制造環境中必不可少的工具,它提供了可重復和可重復的過程以及高水平的過程控制。LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP具有卓越的基板蝕刻/灰化性能、先進的工藝控制反饋和卓越的工藝精度,是先進半導體生產的必備工具。