二手 LAM RESEARCH 300NX #9257375 待售

LAM RESEARCH 300NX是一種用於各種半導體制造工藝的蝕刻器和粉碎器。300NX與一系列液體、漿液和氣體化學物質兼容,能夠進行等離子體蝕刻和等離子體灰化,是中小型生產的理想工具。它設計用於處理復雜的晶圓幾何形狀，工藝室尺寸為18 「x 18」 x 24「，處理面積為16」。LAM RESEARCH 300NX擁有獨特的淋浴頭設計，利用旋轉擋板板有效地管理化學級聯，使所有晶圓表面均勻。此外，它還具有垂直可調的亞環境冷卻環，以降低晶圓溫度，從而提高了工藝的可重復性。設備可以完全自動化和遠程控制，所有配方和參數都可以存儲，以便於召回和檢索。300NX還配備了最先進的觀測系統和用戶友好的圖形用戶界面，對蝕刻器進行不斷的監控、優化和維護。為了提高生產效率,LAM RESEARCH 300NX配備了CenterTrack晶圓處理裝置,該裝置旨在提高晶圓吞吐量並縮短周期時間。它還有一個三級進程分區機，允許使用同一晶圓執行多達三個設備進程。此外,自動控制程序還提供了許多流程控制工具,如子流程控制器和循環控制器,可用於微調流程優化。300NX的占地面積為61 "x 198" x 103",具有環境控制工具,可確保工藝室內的大氣穩定。它配有負載鎖以防止汙染，符合RoHS標準。總而言之，LAM RESEARCH 300NX是復雜半導體制造工藝的高級蝕刻器和粉碎器。