二手 LAM RESEARCH 384T #9383400 待售

LAM RESEARCH 384T是一種蝕刻器（又稱asher），主要適用於半導體工業中使用的清潔、開發和蝕刻基板。該設備的特點是具有主射頻基座的不銹鋼工藝室，通過其創造必要溫度和功率水平的能力產生等離子體。該工藝室被封閉在真空包絡內，可維持在高達10-7 torr的真空水平。已努力設計一個盡可能緊湊的系統，在主加工室之外有輔助部件，如輔助室。該單元還配備了多柵極偏置電源模塊,為蝕刻過程提供了必要的電源要求,功率高達2000瓦。這種功率可按0.2 kW的步長調節，機器也可以被編程為同時提供多個輸出功率。該工藝室采用自上而下的方法，從而能夠更快地加工和更容易地清除氣態副產物。此外，該工具還包括一個隔斷的狹縫板，可以調整以允許選擇各種氣流，為蝕刻過程提供進一步的靈活性。該工藝室采用一種組合氣源，可為二次真空室提供多種不同的氣源。這允許更快的處理時間,以及更有效地利用蝕刻過程。該資產還包括一個先進的節氣門調節模型，允許用戶精確調節腔室中工藝氣體的分布。該設備采用背面冷卻噴嘴設計，高效去除過程熱量，允許更高的功率水平和更低的溫度運行。最後,系統具有遠程診斷選項,並具有Modbus RTU通信接口,便於遠程監視和控制設備。總體而言,384T是一款高級蝕刻器/asher,旨在為用戶提供高效、準確且經濟高效的半導體基板處理解決方案。該機的設計支持高溫、高達2000瓦的射頻功率和眾多的氣源,其先進的控制功能提供了方便的監控和操作。