二手 LAM RESEARCH 4000 Series #9169567 待售
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LAM RESEARCH 4000系列蝕刻器/Asher是一種精密、高頻、自動化的等離子體蝕刻設備,專為生產和研發而設計。它提供了一個直觀的用戶界面,為大多數介電和金屬薄膜提供無化學蝕刻。該系統采用LAM RESEARCH專利的X-Cs技術,提供先進的蝕刻精度和對工藝參數的控制。4000系列具有先進的軸向型順序等離子體源。該源確保在最短的時間內獲得最高質量的蝕刻結果,而先進的夾緊機構則將晶片固定在真空條件下,提供穩定的加工平臺。設備的集成等離子體控制子系統能準確管理所有工藝參數,確保晶片的蝕刻質量一致。其控制軟件允許用戶輕松編程和存儲食譜以供將來使用。除了出色的蝕刻能力外,LAM RESEARCH 4000系列還具有出色的電源和氣流管理功能。這樣可以確保一致的蝕刻速度和穩定性,同時最大限度地提高機器的總性能。4000系列配備經過LAM RESEARCH驗證的傳感器技術,提供蝕刻室的反饋控制,提高腔室的重復性,並保持長期腔室性能。其先進的真空控制工具提供穩定的真空性能,並增強汙染控制。LAM RESEARCH 4000 Series Etcher/Asher憑借其廣泛的材料蝕刻能力、高質量的結果和直觀的用戶界面,是生產研發中滿足高精度蝕刻要求的理想解決方案。
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